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精密放電加工後產生的放電產物，輕易污染電火花加工油，減低盡緣效果，并輕易出現拉弧放電，影響精密放電加工表面質量。目前，現場可以看到采用較高精度過濾網硬性過濾，只能更換過濾網來獲得高清潔度加工油。所以，在這樣情況下，采用低粘度電火花加工油，其過濾效果好，明顯優於高粘度油。而在混粉鏡面加工時的過濾依然是一個題目，正在考慮采用離心過濾法或其他過濾辦法，使電火花加工油獲得再生。影響加工表面質量